주사전자투과현미경, 질량분석기, 입자가속기, 이온주입, 플라즈마 및 증착공정과 같은 최고 품질의 진공이 필요한 분야에 사용 권장됩니다.
유체가 반응 및 유체분해 없이 해당 가스와 직접 접촉하여 사용 가능하므로, UF6, F2, 산소, 오존 및 삼중수소와 같은 반응성 가스를 전달하는 펌프에 사용 권장합니다.
품명 | 점도 (cst, 20℃) | A.M.U | 대응품 |
VAC606 | 60 | 1800 | Fom****L-VAC06/6, Kry***VPF1506 |
VAC1406 | 140 | 2500 | Fom****L-VAC14/6, Kry***VPF1514 |
VAC1606 | 160 | 2700 | Fom****L-VAC60/6, Kry***VPF1516 |
VAC1808 | 185 | 2800 | Fom****H-VAC18/8, Kry***VPF1618 |
VAC2506 | 256 | 3300 | Fom****L-VAC25/6, Kry***VPF1525 |
VAC2509 | 250 | 3400 | Fom****H-VAC25/9, Kry***VPF1625 |
HU2500 | 2500 | - | Kry***XHT750 |
HU3000 | 3000 | - | - |
HU3500 | 3500 | - | Kry***XHT1000 |