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진공펌프용 PFPE 오일 (PerFluorinated PolyEther oil)

주사전자투과현미경, 질량분석기, 입자가속기, 이온주입, 플라즈마 및 증착공정과 같은 최고 품질의 진공이 필요한 분야에 사용 권장됩니다.

유체가 반응 및 유체분해 없이 해당 가스와 직접 접촉하여 사용 가능하므로, UF6, F2, 산소, 오존 및 삼중수소와 같은 반응성 가스를 전달하는 펌프에 사용 권장합니다.

제품의 특성
  • 낮은 증기압, 낮은 휘발성
  • 고온안정성
  • 내수성 및 내용제성
  • 내방사선 특성
  • 비가연성
  • 금속, 플라스틱, 고무와의 호환성
  • 화학적 불활성
  • 산소, 전리방사선 또는 가속된 아원자 입자에 노출 시 중합반응 없음
  • 폭발 및 뜨거운 유체의 산화에 대한 내성이 펌프 작동 중 유체에 데미지 없이 반복적으로 공기에 노출 가능함
제품의 종류
품명 점도 (cst, 20℃) A.M.U 대응품
VAC606 60 1800 Fom****L-VAC06/6, Kry***VPF1506
VAC1406 140 2500 Fom****L-VAC14/6, Kry***VPF1514
VAC1606 160 2700 Fom****L-VAC60/6, Kry***VPF1516
VAC1808 185 2800 Fom****H-VAC18/8, Kry***VPF1618
VAC2506 256 3300 Fom****L-VAC25/6, Kry***VPF1525
VAC2509 250 3400 Fom****H-VAC25/9, Kry***VPF1625
HU2500 2500 - Kry***XHT750
HU3000 3000 - -
HU3500 3500 - Kry***XHT1000